카테고리 보관물: Industrial Microscope

MX61A

MX61A

현미경 솔루션

MX61A는 반도체 검사 전용 현미경으로 사용자가 오랜 시간동안 편안하게 사용할 수 있는 인체공학적인 디자인을 갖추었습니다. 장시간 검사할 수 있고, 작업의 통일성과 생산성을 향상시킬 수 있습니다.

  • 우수한 광학 성능
  • 전동 컴포넌트의 통합 제어
  • 인체공학적인 디자인
  • Complimentary Inspection Solutions

우수한 광학 성능

높은 수준의 영상 성능

MX61A는 새로운 UIS2광학 시스템의 도입을 통해 최고의 영상 성능을 낼 수 있도록 개선되었습니다.
명시야,암시야,미분간섭을 포함한 모든 조명 기술에서 선명하고 명확한 트루 컬러 이미지를 보여줍니다. MX61A의 암시야 관찰 이미지의 밝기는 이전의 OLYMPUS UIS 광학 시리즈에 비해 4배정도 밝아 졌습니다.

관찰 이미지 예

-> UIS2 대물렌즈에 관한 상세한 설명(click)


자동 조리개 조절에 의한 최적의 contrast

통합된 전동타입의 조리개가 렌즈에 따라 자동적으로 조절됩니다. 각각의 배율에 따라 최상의 이미지 품질을 얻을 수 있고 사용자의 눈을 편하게 하여 규칙적인 검사를 더욱 효율적으로 만들어 줍니다.

Aperture Stop 조절

Active Laser Autofocus

MX61A는 검사의 정확성과 속도를 위해 레이저 자동 초점 장치를 갖추고 있습니다.새로 개발된 multi-spot 센서의 도입은 표본의 수직지형의 영향을 제거하여 안정성을 크게 증가시키며 모든 관찰 방법에 대해 기대치보다 초과하며, 더 빨라지고 반복도가 상승합니다.

고배율 렌즈와 Autofocus 기능

 Supports Routine and Advanced Observation Methods

UIS2 대물렌즈 시리즈는 deep ultraviolet, 가시광선, 근적외선 관찰에서 높은 성능의 영상을 제공합니다. MX61A는 통합된 소프트웨어 플랫폼이나 핸드셋을 통해 쉽게 선택할 수 있는 시스템에서 명시야,암시야,미분간섭,형광과 근적외선 관찰법들을 호환하여 사용할 수 있습니다.

대물렌즈 UIS2 Series

관찰 이미지 예


전동 컴포넌트의 통합 제어

 전동 컴포넌트의 통합 제어

OLYMPUS 는 디지털 카메라와 전동 스테이지를 포함한 모든 전동 기능을 제어하기 위해 MX61A 현미경 프레임과 함께 통합된 여러 소프트웨어 플랫폼을 제공합니다.
각 인터페이스는 기본적인 검사 및 제어, 고급 이미지 분석 및 반복적인 사이트 검사 및 결함 검토를 위해 설계되었습니다.

통합된 현미경 및 소프트웨어 시스템

인체공학적인 디자인

SEMI S2 & S8 Standards 적용

MX61A는 SEMI( Semiconductor Equipment and Materials International) S2와 S8 기준에 따라 웨이퍼에 안전하고 인체공학적이게 제작되었으며, CE도 표시되어 있습니다.


Observation Tube 조절 

Observation Tube 조절의 넓은 범위는 사용자가 앉아서 적절한 자세를 취하여 안정적이고 편안한 작업을 할 수 있습니다.

Observation Tube 조절

 전동 Nosepieces의 향상된 검사 속도

초고속 전동 nosepiece 의 회전 속도는 clean room과의 호환성을 유지하면서 검사 간의 속도를 줄여줍니다. OLYMPUS는 이상적인 검사방법을 위해 3가지 종류의 제어방식을 제공합니다. 소프트웨어, 프레임 버튼, 독립적인 핸드셋.

전동 Nosepieces

Rigid Frame Design 

OLYMPUS는 100배,150배 대물렌즈를 사용할 때 진동으로 인한 흐림을 최소화하고 이미지의 해상도와 contrast를 최대화 하기 위하여 견고하고 진동에 민감함 MX61A 프레임을 채택하였습니다.

고배율의 관찰 이미지

Handset for Tactile Control 

인체공학적으로 설계된 핸드셋은 렌즈 선택과 관찰법을 선택하기 위해 현미경의 전동기능을 제어할 수 있는 버튼을 제공합니다. 사용자는 오토포커스 유닛의 TRACE 와 ONE SHOT을 조절할 수 있고, 수동 미세 초점, DIC의 위치 조절, 램프 강도, 샘플 교체를 위한 스테이지 낮추기 도 조절 가능합니다.

Handset

Complimentary Inspection Solutions

 고성능 전동 스테이즈

높은 정확도의 전동 스테이지를 MX61A 현미경과 함께 사용할 수 있습니다. 조이스틱과 소프트웨어로 조종이 가능한 전동 스테이지는 검사의 반복도를 높이고 인체공학적이라 검사할 수 있는 작업시간을 연장시켜줍니다.

전동 스테이즈

 

GX71

GX71

Discontinued

OLYMPUS GX71 도립형 현미경은 오늘날에 금속에 관련한 주요연구분야에서 가장 많이 사용되고 있는 현미경입니다. UIS2광학계 렌즈와 함께 훌륭한 이미지를 얻어 내는 광학기술은 오랜 시간동안 우수성과 신뢰성을 제공할 연구장비가 될 것입니다.

  • 완벽한 등급의 도립형 금속현미경
  • 뛰어난 이미지 선명도와 해상도
  • 소프트웨어 솔루션
  • Accessories

완벽한 등급의 도립형 금속현미경

다양한 이미지 형성 기술로 쉽고 편리한 사용

독특한 분석 요구사항과 다양한 샘플을 처리하기 위해서GX71은 모든 OLYMPUS 도립현미경의 큰 이미지를 형성하는 기술을 구현합니다. 명시야, 암시야, DIC, 간이편광, 형광관찰이 가능합니다. Mirror Cube의 선택이 가능한 먼지 방지기능이 있는 Turret은 편하고 빠르게 렌즈변환이 가능합니다.

이미지 형성 Mirror Turret

배율 변환기 내장

배율변환기를 통한 이미지의 실시간 확대와 축소기능은 이미지의 추가적인 검사 방법 혹은 다목적으로 필요한 테스트 및 검사 기준보다 높은 배율로 볼 수 있게 합니다.

배율 변환기 내장
Zoom In/Out 기능

Super Widefield Observation

GX71은 샘플을 온전한 상태로 넓은 영역의 결함이나 잘못된
부분을 26.5mm의 시야를 갖고 살펴볼 수 있습니다.

26.5mm Viewfield 를 가진 Observation Tubes

전동기능으로 효율성 증대

분석을 필요로 하는 크고 많은 양의 샘플들을 전동 유닛들을 전동 유닛들을 통하여 시간 및 비용을 절약할 수 있습니다.
간단한 핸드셋을 통해 렌즈의 선택을 빠르고 쉽게 할 수 있습니다. 더 높은 수준의 분석과 속도향상을 위해서 Stream 이미지 분석 전용 소프트웨어를 사용하시면 자동 스테이지 및 전동필터 등의 추가적인 유닛들을 컨트롤 할 수 있습니다.

전동 부품과 PC 컨트롤

뛰어난 이미지 선명도와 해상도

우수한 이미지 성능을 위한 다양한 기능 선택

UIS2 광학계는 명시야, 암시야, 미분간섭, 편광, 형광의 모든 관찰 방법에서 밝고, 선명하며, 고해상도의 이미지를 보여줍니다.
색상 충실도를 위해 특별한 코팅과 웨이브 프론트 수차 컨트롤 기술로 설계되어 UIS2 광학계 이미지는 높은 해상도를 보장합니다.

관찰 이미지 예

사용목적에 따라 다양한 렌즈의 선택
MPLAPON Plan Apochromat Objective Lens Series
MPLFLN Semi Apochromat Objective Lens Series (명시야)
MPLFLN-BD Semi Apochromat Objective Lens Series ( 명시야, 암시야 )
MPLFLN-BDP Semi Apochromat Objective Lens Series ( 명시야, 암시야, 편광 )
LMPLFLN Long WD Semi Apochromat Objective Lens Series ( 명시야 )
LMPLFLN-BD Long WD Semi Apochromat Objective Lens Series ( 명시야, 암시야 )
MPLN Plan Achromat Objective Lens Series ( 명시야 )
MPLN-BD Plan Achromat Objective Lens Series ( 명시야, 암시야 )
SLMPLN Super Long WD Plan Achromat Objective Lens Series
LCPLFLN-LCD Long WD Semi Apocromatic Objective Lens Series ( LCD전용 )

->> UIS2 대물렌즈에 관한 상세한 설명(click)


소프트웨어 솔루션

손쉬운 작업을 위한 디지털 카메라와 이미지 분석 소프트웨어

고급 OLYMPUS 이미지 분석 소프트웨어는 고해상도 관찰과 빠른 이미지 전송기능을 갖춘 OLYMPUS의 모든 디지털 카메라와 함께 현재의 가장 복잡한 금속공학의 요구 사항을 위해 모든 도구를 제공하여 사용자에게 힘을 실어줍니다.
기본 금속학 및 고급 금속학 어플리케이션의 특정 모듈( 특별 분야별로 12개가 넘는 어플리케이션)과 가장 널리 쓰이는 ASTM 과 ISO 규격과 함께 마우스 클릭 몇 번만으로 자동으로 데이터를 전송하고 보고서를 생성합니다.


Accessories

투과 조명기

투과 조명기는 현미경 바디의 후면에 장착되어 사용되며, 투명한 샘플이나 파우더의 관찰에 유용합니다.


GX51

GX51

현미경 솔루션

OLYMPUS GX51 도립형 현미경은 고배율에서 높은 안정성과 함께 선명한 고분해능의 이미지를 제공합니다. 다양한 용도의 액세서리뿐만 아니라 디지털 카메라와 소프트웨어 솔루션을 제공합니다.

  • 인체공학적 그리고 효율성
  • 뛰어난 이미지 선명도와 해상도
  • 소프트웨어 솔루션
  • Accessories

인체공학적 그리고 효율성

 쉽고 편리한 동작

GX51은 명시야,암시야,DIC, 간이편광 관찰이 가능한 모델입니다. 인체공학으로 효율성있게 명시야와 암시야의 변경이 쉽고 간편합니다. 많은 수의 샘플을 검사할 때, 전면부에 위치한 컨트롤부를 통해 쉽고 편리하게 사용자가 사용할 수 있습니다.

명시야/암시야 변경 레버

전동기능으로 효율성 증대

분석을 필요로 하는 크고 많은 양의 샘플들을 전동 유닛들을 전동 유닛들을 통하여 시간 및 비용을 절약할 수 있습니다.
간단한 핸드셋을 통해 렌즈의 선택을 빠르고 쉽게 할 수 있습니다. 더 높은 수준의 분석과 속도향상을 위해서 Stream 이미지 분석 전 용 소프트웨어를 사용하시면 자동 스테이지 및 전동필터 등의 추가적인 유닛들을 컨트롤 할 수 있습니다.


뛰어난 이미지 선명도와 해상도

우수한 이미지 성능을 위한 다양한 기능 선택

UIS2 광학계는 명시야, 암시야, 미분간섭, 편광, 형광의 모든 관찰 방법에서 밝고, 선명하며, 고해상도의 이미지를 보여줍니다.
색상 충실도를 위해 특별한 코팅과 웨이브 프론트 수차 컨트롤 기술로 설계되어 UIS2 광학계 이미지는 높은 해상도를 보장합니다.

관찰 이미지 예

사용목적에 따라 다양한 렌즈의 선택
MPLAPON Plan Apochromat Objective Lens Series
MPLFLN Semi Apochromat Objective Lens Series (명시야)
MPLFLN-BD Semi Apochromat Objective Lens Series ( 명시야, 암시야 )
MPLFLN-BDP Semi Apochromat Objective Lens Series ( 명시야, 암시야, 편광 )
LMPLFLN Long WD Semi Apochromat Objective Lens Series ( 명시야 )
LMPLFLN-BD Long WD Semi Apochromat Objective Lens Series ( 명시야, 암시야 )
MPLN Plan Achromat Objective Lens Series ( 명시야 )
MPLN-BD Plan Achromat Objective Lens Series ( 명시야, 암시야 )
SLMPLN Super Long WD Plan Achromat Objective Lens Series
LCPLFLN-LCD Long WD Semi Apocromatic Objective Lens Series ( LCD전용 )

->> UIS2 대물렌즈에 관한 상세한 설명(click)


소프트웨어 솔루션

손쉬운 작업을 위한 디지털 카메라와 이미지 분석 소프트웨어

고급 OLYMPUS 이미지 분석 소프트웨어는 고해상도 관찰과 빠른 이미지 전송기능을 갖춘 OLYMPUS의 모든 디지털 카메라와 함께 현재의 가장 복잡한 금속공학의 요구 사항을 위해 모든 도구를 제공하여 사용자에게 힘을 실어줍니다.
기본 금속학 및 고급 금속학 어플리케이션의 특정 모듈( 특별 분야별로 12개가 넘는 어플리케이션)과 가장 널리 쓰이는 ASTM 과 ISO 규격과 함께 마우스 클릭 몇 번만으로 자동으로 데이터를 전송하고 보고서를 생성합니다.


Accessories

Intermediate Modules 

정면에 카메라를 결합하여 사용할 뿐만 아니라, IX-ATU 혹은 GX-SPU 사이드 포트 의 유닛을 통해 추가적인 카메라 장치를 사용할 수 있습니다.

GX-SPU

투과 조명기

투과 조명기는 현미경 바디의 후면에 장착되어 사용되며, 투명한 샘플이나 파우더의 관찰에 유용합니다.


 

GX41

GX41

현미경 솔루션

OLYMPUS GX41 도립형 금속 현미경은 컴팩트하고 무게가 가벼운 소형 디자인으로 이동이 편리하며 사용하기가 간편합니다. 손쉽고 빠르게 어디서든 원하시는 장소에서 다양한 금속샘플을 관찰하는데 효율적입니다.

  • 이동성과 인체공학적
  • 명시야와 편광에서의 우수한 분해능과 선명한 이미지
  • 소프트웨어 솔루션

이동성과 인체공학적

 모바일 시스템은 어디에서든지 현장 검사를 지원

컴팩트한 바디는 공간제약이 있는 장소에도 설치가 가능하며 현장검사가 필요한 연구실이나 생산라인에도 유용하게 사용할 수 있습니다.

컴팩트 바디

인체공학적 시점 조정

각도 조절이 가능한 2안 관찰 튜브는 GX41 사용자들이 서있거나 앉아있을때 모두 편안한 환경에서 작업을 할 수 있게 해줍니다.

각도 조절이 가능한 2안 관찰 튜브

명시야와 편광에서의 우수한 분해능과 선명한 이미지

모든 배율에서의 선명하고 밝은 관찰

전체 보이는 영역(F.N.22)을 높은 선명도로 관찰할 수 있고 검사의 효율성을 향상시켜준 UIS2-무한보정광학기술에 감사드립니다. 렌즈의 배율은 5배에서 100배까지, 명시야와 간이편광 관찰을 지원합니다.

MPLN Series

관찰 이미지 예


조명 시스템

일반적으로 쓰이는 6V30W 할로겐 광원에 추가하여 100W의 광섬섬유 광원은 반사도가 낮은 샘플에서도 밝게 보입니다.

100W 광섬유 광원의 결합

소프트웨어 솔루션

고급 OLYMPUS 이미지 분석 소프트웨어는 고해상도 관찰과 빠른 이미지 전송기능을 갖춘 OLYMPUS의 모든 디지털 카메라와 함께 현재의 가장 복잡한 금속공학의 요구 사항을 위해 모든 도구를 제공하여 사용자에게 힘을 실어줍니다.
기본 금속학 및 고급 금속학 어플리케이션의 특정 모듈( 특별 분야별로 12개가 넘는 어플리케이션)과 가장 널리 쓰이는 ASTM 과 ISO 규격과 함께 마우스 클릭 몇 번만으로 자동으로 데이터를 전송하고 보고서를 생성합니다.

SZX7

현미경 솔루션

SZX7

OLYMPUS SZX7은 7:1 의 줌 비율과 ESD(정전기방지), 발전된 Galilean 광학 시스템을 채택하였으며 경제적인 가격으로 높은 분해능과 다양한 편리성으로 누구나 손쉽게 사용하실 수 있습니다.

  • 우수한 광학 성능
  • 인체공학 그리고 샘플의 안전성
  • 다양한 조명 장치
  • 유니버셜 스탠드와 디지털 영상

우수한 광학 성능

 Galilean 광학 시스템

Galilean 광학 시스템( 0.8x – 5.6x 줌 범위)은 향상된 코팅으로 적절한 배율에서 샘플의 종류에 상관없이 최상의 이미지를 제공하기 위해 높은 N.A.와 왜곡을 없앤 다양한 렌즈와 함께 사용되어 집니다.

Galilean 광학 시스템 다이어그램

8개의 호환가능한 렌즈로부터의 뛰어난 성능

DFPL2x/DPFL1.5x/DFPL 0.75x/DFPL 0.5x
DFPL 렌즈 시리즈는 뛰어난 색 재현성과 샘플의 모양을 정확하게 구현합니다.

DFPLAPO 1.25x /DFPLAP01x-4
색 수차 및 구면 수차를 제거한 가장 높은 성능의 렌즈.
뛰어난 분해능과 contrast, 이미지 평면도와 최소한의 왜곡.

SZX-ACH1.25x /SZX-ACH1x
Long Working Distance와 고분해능을 갖춘 균형잡힌 렌즈

대물 렌즈의 종류

인체공학 그리고 샘플의 안전성

인체공학

SZX2 실체현미경의 고급화된 OLYMPUS Comfort View 접안렌즈는 3D 이미지를 볼 수 있도록 넓은 범위를 한 번에 볼 수 있게하며 장시간 사용시에도 편안함을 가져다 줍니다.

OLYMPUS 는 단순한 인체공학이 아니라, 각각의 현미경이 사용자를 염두해 두고 설계되어 집니다.
따라서, 모든 동작은 사용하기 쉽고 눈이 편안한 접안렌즈, 낮은 위치의 스탠드 등으로 사용하는데 발생할 수 있는 스트레스를 최대한으로 줄였습니다.
그리고 줌 컴트롤 손잡이는 정면에 있어 줌 설정값을 쉽게 확인하고 사용할 수 있습니다.
OLYMPUS는 튜브(헤드) 부분의 각도가 5~45로 조절할 수 있어 다양한 사용자들이 만족하며 사용할 수 있습니다.


정전기로부터 장비를 보호하는 ESD

전자제품과 관련된 분야에서 최고로 중요한 것은 정전기를 방지하는 기능입니다. 특수 소재와 페인트는 SZX7이 사용자의 전기에 민감한 샘플을 보호해 줍니다.


다양한 조명 장치

LED 조명 – 반사형과 투과형 스탠드 

Ultra-thin 의 친환경 LED 스탠드는 에너지 효율성을 높혔습니다.

LED 조명 스탠드

Off the Bench Illuminator

특별히 제작된 광섬유 광원은 스탠드에 직접 결합되어 작업공간을 차지 하지 않습니다. 단독 혹은 더블 방식의 Interlock과 Ring 방식이 있으며, 이 시스템은 오랜 시간 밝은 조명장치로 사용할 수 있습니다.

Dual Interlock Light Guide Illuminator

 Coaxial Reflected Light Illuminator

Casings 같은 구멍(홀)안의 관찰 용도로 적합한 조명장치

Coaxial Reflected Light Illuminator

 White LED Illuminator System

최소한의 열 영향과 뛰어난 밝기를 가진, 오래사용 가능한 링 라이트는 균일하게 빛을 비춰줄 때 이상적입니다.

White LED 조명기

* LED 조명기 모델은 지역별로 다를 수 있습니다.


유니버셜 스탠드와 디지털 영상

다양한 유니버셜 스탠드 

사용자의 손과 팔에 스트레스와 부담을 줄이면서 베이스 플레이트와 곡선형 울트라 슬림 스탠드에서 쉽게 샘플을 관찰하실 수 있습니다.

OLYMPUS는 더 큰 샘플의 검사 및 조립을 위해서 ESD 기능의 다양한 스탠드가 있습니다. 필요할 경우에는 400mm 과 600mm 높이의 크기를 갖는 큰 사이지의 스탠드도 대응이 가능합니다.

SZ2-STU2 : arm의 길이와 각도를 자유롭게 조절할 수 있습니다.                   SZ2-STU3 : 스탠드는 책상위에 놓고 조립 및 검사라인에서 사용하실 수 있습니다.

SZ2-ST 와의 조합
SZ2-STU2 구성
SZ2-STU3 구성

Work Comfortably and Productively

Ergonomic Instruments Enable Natural Posture, Reduced Stress, and Increased Productivity

The ergonomic long tilting trinocular provides an optimized work position by bringing the microscope closer to the user while the extendable eyepoint adjuster provides flexibility for users of different heights. The SZX2 series’ ergonomic instruments reduce stress during observation by providing the most comfortable position for each user, increasing work efficiency.


Ergonomic Design Based on 3D CAD Analysis

The microscope body and stand feature precisely curved contours developed through careful 3D computer aided design (CAD) analysis. Key ergonomic features help reduce fatigue during periods of long observation and include an all-round finish that’s smooth to the touch.


Convenient Front-access Operation

The most frequently used knobs and switches are easily accessible to maximize operator comfort and reduce back strain.


Precise Recall of Specific Magnification Settings

Many inspection tasks require the use of the same zoom magnification setting to ensure consistent and comparable results. The integrated click-stop mechanism provides quick and easy access to this important function. The zoom knob stopper enables the user to accurately choose their desired magnification, and the setting in use is clearly displayed on the front control panel.


Eyepieces Reduces Fatigue and Exclude Dust

This  Eyepieces feature a pupillary aberration control mechanism whereby the image remains visible even if the operator’s eyes move. This lessens operator fatigue during long observations. The unique eyepiece mounting design excludes dust particles and keeps the eyepiece firmly in place ensuring clear images and an ergonomic eyepiece position.


Electrostatic Discharge (ESD) Safe Design

All microscope bodies and accessories are ESD-safe and can discharge static electricity from 1000 V down to 100 V in less than 0.2 seconds, protecting the equipment and preventing sample damage.


Specification

Stereomicroscope System SZX7 Specifications
Optical System Galilean Optical System
Total Magnification 4.0x-336x*1
Zoom Body Zoom Ratio 7 (0.8x-5.6x)
AS Option
Observation Tube Binocular/Trinocular/Tilting Trinocular Observation Tube
Extendable Eyepoint Adjuster SZX2-EEPA
Focus Stand
Objective Lens Magnification Type N.A. W.D. (mm) Total Magnification *2 *3 Field Diameter of View (mm)*2 *3
0.5x Plan Achromat 0.05 171 4x-28x Ø55-Ø7.9
0.75x Plan Achromat 0.075 116 6x-42x Ø36.7-Ø5.2
1x Plan Apochromat 0.1 81 8x-56x Ø27.5-Ø3.9
Achromat 0.1 90 8x-56x Ø27.5-Ø3.9
1.25x Plan Apochromat 0.125 60 10x-70x Ø22-Ø3.1
Achromat 0.125 68 10x-70x Ø22-Ø3.1
1.5x Plan Achromat 0.15 45.5 12x-84x Ø18.3-Ø2.6
2x Plan Achromat 0.2 33.5 16x-112x Ø13.8-Ø2.0
Dimensions (W x D x H) 194 mm x 253 mm x 403 mm
Weight 4.5 kg (in Standard Configularion)
Remark *1 total magnification range possible by combining an objective lens and eyepiece
*2 in the case of using eyepiece 10x
*3 SZX2-LTTR: intermediate magnification is 1.25X

 

MX61L/MX61

현미경 솔루션

MX61L / MX61

MX61L(300mm용) / MX61(200mm용) 반도체 검사용 현미경은 명시야,암시야,간이편광(DIC),형광, 적외선 및 자외선을 이용한 다양한 관찰법을 통해 고화질의 선명한 이미지를 제공합니다.

  • 인체 공학적 디자인 기능
  • 뛰어난 이미지 선명도와 우수한 분해능
  • 소프트웨어 솔루션
  • 고성능 기능
  • 다양한 관찰방법을 지원하는 악세서리

 인체 공학적 디자인 기능

 빠른 작업을 위한 직관적인 컨트롤

MX61L/MX61의 주요 컨트롤은 사용자의 손끝이 초점조절 손잡이 근처인 현미경의 전면부에 위치하게 된다는 것입니다.
렌즈,조명 강도와 조리개 조절시에 초점조절 손잡이로부터 손을 뗀다거나 접안렌즈에서 눈을 멀리하는 일이 없습니다.

전면 패널
[1] 조명 강도 손잡이
[2] 회전 대물렌즈 터렛
[3] 조리개 조절

 Titling Trinocular Observation Tube

Observation Tube 조절의 넓은 범위는 사용자가 앉아서 적절한 자세를 취하여 안정적이고 편안한 작업을 할 수 있습니다.

Observation Tube 조절

Clutch Driven Manual XY Stage 

300mm 수동 XY 스테이지는 내장된 클러치 메커니즘 및 XY
손잡이를 사용하여 조동과 미동 움직임의 조절이 됩니다.
클러치를 사용하여, 사용자는 검사를 하는 동안 스테이지를 자유롭게 이동할 수 있습니다.

Stage handle with built-in clutch

뛰어난 이미지 선명도와 우수한 분해능

우수한 이미지 성능을 위한 다양한 선택

렌즈는 광학 현미경의 핵심 부품이며 재료 샘플의 관찰과 조명을 위해 사용되어 집니다. OLYMPUS는 모든 관찰법에 적합한 범용적인 렌즈, Working Distance(샘플과의 거리)가 길거나 매우 긴 렌즈, 근적외선 렌즈, LCD 전용 검사용 렌즈 등 다양한 종류의 렌즈를 갖추고 있습니다.

관찰 이미지 예

사용목적에 따라 다양한 렌즈의 선택
MPLAPON Plan Apochromat Objective Lens Series
MPLFLN Semi Apochromat Objective Lens Series (명시야)
MPLFLN-BD Semi Apochromat Objective Lens Series ( 명시야, 암시야 )
MPLFLN-BDP Semi Apochromat Objective Lens Series ( 명시야, 암시야, 편광 )
LMPLFLN Long WD Semi Apochromat Objective Lens Series ( 명시야 )
LMPLFLN-BD Long WD Semi Apochromat Objective Lens Series ( 명시야, 암시야 )
MPLN Plan Achromat Objective Lens Series ( 명시야 )
MPLN-BD Plan Achromat Objective Lens Series ( 명시야, 암시야 )
SLMPLN Super Long WD Plan Achromat Objective Lens Series
LCPLFLN-LCD Long WD Semi Apocromatic Objective Lens Series ( LCD전용 )

-> UIS2 대물렌즈에 관한 상세한 설명


소프트웨어 솔루션

디지털 영상을 위한 준비

MX61L / MX61은 현미경의 제어를위한 PC 인터페이스를
갖추고 있습니다. 이미지를 캡처하는 동안 렌즈의 배율이 자동으로 저장 됩니다. 이 점은 추가적인 처리와 분석을위한 신뢰할 수있는 이미지 정보를 보장합니다.


디지털 영상, 이미지 분석과 데이타베이스 관리

OLYMPUS는 소프트웨어 뿐만 아니라 다양한 종류의 디지털 카메라와 함께 광범위한 영상과 분석솔루션을 제공합니다. 가장 최신버젼의 고급 소프트웨어는 MX61L/MX61과 통합되어 이미지 획득, 이미지 처리, 측정 기능, 통계 결과, 주석, 보관, 리포트 생성과 데이타 관리와 같은 업무 수행에 필수적인 기능을 제공하며 추가적으로 Secure File Repository를 제공하여 보안을 강화할 수 있습니다.


고성능 기능

전동 Nosepieces로 검사속도 향상

초고속 전동 nosepiece 의 회전 속도는 clean room과의 호환성을 유지하면서 검사 간의 속도를 줄여줍니다. OLYMPUS는 이상적인 검사방법을 위해 3가지 종류의 제어방식을 제공합니다. 소프트웨어, 프레임 버튼, 독립적인 핸드셋.

전동 Revolving Nosepiece

자동 조리개 조절에 의한 최적의 contrast

통합된 전동타입의 조리개가 렌즈에 따라 자동적으로
조절됩니다. 각각의 배율에 따라 최상의 이미지 품질을 얻을 수 있고 사용자의 눈을 편하게 하여 규칙적인 검사를 더욱 효율적으로 만들어 줍니다.

Aperture Stop 자동조절

다양한 관찰방법을 지원하는 악세서리

근적외석(IR) 광학과 영상

특별히 고안된 IR 객관 렌즈 및 부품 실리콘과 유리의
표면 아래 영상 기능과 결함에 이상적입니다.반도체 및 태양광 산업 정렬에 대한 IR 영상, 하위 표면 오염 및 중요 치수 검사의 신분을 사용합니다.20x, 50x 및 100x 목표는 전반적인 대비를 향상, 실리콘과 유리의 두께로 인한 aberrations에 대한 해결 정정 칼라로 설계되었습니다. 가까운 적외선 영상 및 분석을위한 올림푸스 supportsseveral IR 디지털 카메라.
특별히 고안된 IR 대물렌즈와 부품들은 실리콘와 유리 표면 아래(내부)에 있는 결함의 발견과 영상 기능에 이상적입니다. 반도체 및 태양광 산업에서 중요 치수 검사나 하위-표면 오염정도의 식별을 위해 IR 기능을 사용합니다. 20배,50배,100배 렌즈는 전체적으로 contrast를 향상시켰고 실리콘과 유리 두께에 따라 발생하는 aberrations을 해결하기 위해 correction collar(보정환)를 가지고 있습니다. OLYMPUS는 근적외선 영상과 분석을 위한 IR 디지털 카메라도 지원합니다.


형광 관찰

MX61L/MX61은 높은 강도의 광원과 미러 큐브를 추가하여 형광관찰을 할 수 있습니다. 형광관찰은 resist residuals 와 유기 입자 등의 샘플을 쉽게 검출하는데 유용합니다.


투과 조명모듈

투과 조명은 MX61L/MX61에 결합되어 포토마스크나 평판디스플레이 검사에 사용할 수 있습니다. 두 가지 콘덴서 타입이 있으며, 첫 번째 타입 MX-TILLA는 범용적인 용도로 사용되며, 두 번째 타입 MX-TILLB는 높은 개구수(N.A)를 갖고 있습니다. 두 가지 타입 모두 간이편광을 지원합니다.

투과 조명모듈

MX51

현미경 솔루션

MX51

OLYMPUS 산업용 검사 현미경 MX51은 가격대비 활용성이 높은 모델로 보다 편리하고 빠른 관찰이 가능하며, 각종 전자부품, 웨이퍼, 크기가 큰 샘플들의 관찰에 용이하도록 최적화되었습니다.

  • 인체공학적 & 효율성
  • 뛰어난 이미지 선명도와 우수한 분해능
  • 소프트웨어 솔루션
  • 다양한 관찰방법을 지원하는 악세서리

인체공학적 & 효율성

 Frontal Centralized Operation

MX51 컨트롤 하는 부분이 현미경의 정면에 위치하고 있어 사용자가 접촉하고 조종하기 쉽습니다. 클러치가 포함된 150mm 스테이지는 빠르게 위치 설정이 가능하며 사용자의 피로도를 줄여줍니다.

Frontal Operation

전동 Revolving Nosepiece

MX51은 표준 수동타입의 Nosepieces 뿐만 아니라, 전동타입의 Nosepieces 도 장착이 가능합니다. 전동 Nosepieces는 렌즈를 빠르게 교체할 수 있으며 샘플에 발생할 수 있는 잠재적인 오염의 발생 가능성을 줄여줍니다. Nosepiece 컨트롤러는 OLYMPUS Stream과 연동하여 이미지를 획득할 때 자동적으로 대물렌즈의 배율을 저장하여 작업의 신뢰도를 높여줍니다.

전동 Revolving Nosepiece

뛰어난 이미지 선명도와 우수한 분해능

우수한 이미지 성능을 위한 다양한 선택

렌즈는 광학 현미경의 핵심 부품이며 재료 샘플의 관찰과 조명을 위해 사용되어 집니다. OLYMPUS는 모든 관찰법에 적합한 범용적인 렌즈, Working Distance(샘플과의 거리)가 길거나 매우 긴 렌즈, 근적외선 렌즈, LCD 전용 검사용 렌즈 등 다양한 종류의 렌즈를 갖추고 있습니다.

관찰 이미지 예

사용목적에 따라 다양한 렌즈의 선택
MPLAPON Semi Apochromat Objective Lens Series (명시야)
MPLFLN Semi Apochromat Objective Lens Series ( 명시야, 암시야 )
MPLFLN-BD Semi Apochromat Objective Lens Series ( 명시야, 암시야, 편광 )
MPLFLN-BDP Semi Apochromat Objective Lens Series ( 명시야, 암시야, 편광 )
LMPLFLN Long WD Semi Apochromat Objective Lens Series ( 명시야 )
LMPLFLN-BD Long WD Semi Apochromat Objective Lens Series ( 명시야, 암시야 )
MPLN Plan Achromat Objective Lens Series ( 명시야 )
MPLN-BD Plan Achromat Objective Lens Series ( 명시야, 암시야 )
SLMPLN Super Long WD Plan Achromat Objective Lens Series
LCPLFLN-LCD Long WD Semi Apocromatic Objective Lens Series ( LCD전용 )

-> UIS2 대물렌즈에 관한 상세한 설명(click)


소프트웨어 솔루션

디지털 영상, 이미지 분석과 데이타베이스 관리

OLYMPUS는 소프트웨어 뿐만 아니라 다양한 종류의 디지털 카메라와 함께 광범위한 영상과 분석솔루션을 제공합니다. 가장 최신버젼의 고급 소프트웨어는 MX61L/MX61과 통합되어 이미지 획득, 이미지 처리, 측정 기능, 통계 결과, 주석, 보관, 리포트 생성과 데이타 관리와 같은 업무 수행에 필수적인 기능을 제공하며 추가적으로 Secure File Repository를 제공하여 보안을 강화할 수 있습니다.

->디지털 카메라 종류 (click) : 추후 제이엔옵틱 제품으로 수정


다양한 관찰방법을 지원하는 악세서리

근적외석(IR) 광학과 영상

특별히 고안된 IR 객관 렌즈 및 부품 실리콘과 유리의
표면 아래 영상 기능과 결함에 이상적입니다.반도체 및 태양광 산업 정렬에 대한 IR 영상, 하위 표면 오염 및 중요 치수 검사의 신분을 사용합니다.20x, 50x 및 100x 목표는 전반적인 대비를 향상, 실리콘과 유리의 두께로 인한 aberrations에 대한 해결 정정 칼라로 설계되었습니다. 가까운 적외선 영상 및 분석을위한 올림푸스 supportsseveral IR 디지털 카메라.
특별히 고안된 IR 대물렌즈와 부품들은 실리콘와 유리 표면 아래(내부)에 있는 결함의 발견과 영상 기능에 이상적입니다. 반도체 및 태양광 산업에서 중요 치수 검사나 하위-표면 오염정도의 식별을 위해 IR 기능을 사용합니다. 20배,50배,100배 렌즈는 전체적으로 contrast를 향상시켰고 실리콘과 유리 두께에 따라 발생하는 aberrations을 해결하기 위해 correction collar(보정환)를 가지고 있습니다. OLYMPUS는 근적외선 영상과 분석을 위한 IR 디지털 카메라도 지원합니다.


형광 관찰

MX51은 높은 강도의 광원과 미러 큐브를 추가하여 형광관찰을 할 수 있습니다. 형광관찰은 resist residuals 와 유기 입자 등의 샘플을 쉽게 검출하는데 유용합니다.


투과 조명모듈

투과 조명은 MX51에 결합되어 포토마스크나 평판디스플레이 검사에 사용할 수 있습니다. 두 가지 콘덴서 타입이 있으며, 첫 번째 타입 MX-TILLA는 범용적인 용도로 사용되며, 두 번째 타입 MX-TILLB는 높은 개구수(N.A)를 갖고 있습니다. 두 가지 타입 모두 간이편광을 지원합니다.

투과 조명모듈

OLS4100 Application

OLS4100 Application

  • 반도체/FPD
  • 전자 부품 / MEMS
  • 재료/금속 가공

반도체/FPD(Flat Panel Display)

웨이퍼 범프
(대물 렌즈 100x/ 광학 줌 1.5x/스캐닝 영역 85 μm x 85 μm)
도광판
(대물 렌즈 50x/ 광학 줌 1x/스캐닝 영역 256 μm x 256 μm)
칩 패드
(대물 렌즈 50x/ 광학 줌 2x/스캐닝 영역 128 μm x 128 μm)
도광판 위의 레이저 점
(대물 렌즈 100x/ 광학 줌 1x/스캐닝 영역 128 μm x 128 μm)

전자 부품 / MEMS (미세 전자 기계 시스템)

포토 마스크
(대물 렌즈 20x/ 광학 줌 1x/스캐닝 영역 640 μm x 640 μm)
샘플 제공 : 코시부 정밀
마이크로 렌즈
(대물 렌즈 100x/ 광학 줌 1x/스캐닝 영역 128 μm x 128 μm)
PCB 커넥터
(대물 렌즈 50x/ 광학 줌 1x/스캐닝 영역 256 μm x 256 μm)
MEMS
(대물 렌즈 20x/ 광학 줌 1.3x/스캐닝 영역 483 μm x 483 μm)

재료/금속 가공

다이아몬드 전기 공구
(대물 렌즈 50x/ 광학 줌 1x/스캐닝 영역 256 μm x 256 μm)
탄소
(대물 렌즈 렌즈 100x/ 광학 줌 1x/스캐닝 영역 128 μm x 128 μm)
얇은 파이프
(대물 렌즈 렌즈 100x/ 광학 줌 1x/스캐닝 영역 128 μm x 128 μm)
접착 테이프
(대물 렌즈 50x/ 광학 줌 2x/스캐닝 영역 128 μm x 128 μm)
샌드 페이퍼 #400 (3D)
(대물 렌즈 20x/ 광학 줌 1x/스캐닝 영역 640 μm x 640 μm)
대물 렌즈 20x/ 광학 줌 1x/스캐닝 영역 640 μm x 640 μm)
고밀도 구조(3D)
(대물 렌즈 20x/ 광학 줌 1x/스캐닝 영역 640 μm x 640 μm)

OLS4100

With the Olympus LEXT OLS4100 laser scanning digital microscope non-contact 3D observations and measurements of surface features at 10 nanometer resolutions are easy to produce. The OLS4100 industrial microscope has distinctive features for fast image acquisition and high-resolution microscope images over a wider area.

  • 뛰어난 측정 성능
  • 세계 최초* 두개의 성능 보증
  • 고품질 이미지
  • 더 쉽게, 더 빠르게, 더 광범위하게.

뛰어난 측정 성능

넓은 샘플 범위

85°이상의 경사도 이미지

OLS4100은 높은 N.A값을 갖는 전용 대물 렌즈와 405nm 레이저의 성능을 극대화 시킨 광학 시스템에 의해서 기존에 측정 불가능했던 급경사면의 이미지를 손쉽게 취득할 수 있습니다.

수차를 최소화한 전용렌즈

10nm의 높이 분해능을 가진 마이크로 프로파일 측정

(대물 렌즈 : MPLAPON50XLEXT)
STEP 높이 표준 B 타입, PTB-5, 독일, 마이크로 전자 연구소 6nm 단차를 감지

405nm의 단파장 레이저 빛과 높은 N.A의 전용 대물 렌즈를 사용하여 최대 0.12μm의 평면 분해능을 실현. 샘플 표면의 서브 마이크론 측정이 가능합니다. 또한 고정밀 리니어 스케일과 IZ 커브를 이용한 CFO 검색 (23 페이지 참조)를 채택하여 10nm 이하의 높이 차이를 감지 할 수 있습니다.

 


반사율 차이에도 대응

다이아몬드 전기 공구
대물 렌즈 : MPlanApoN50xLEXT

OLS4100은 2개의 공초첨 광학 시스템을 탑재한 듀얼 컨포칼 시스템을 사용합니다. 고감도 디텍터(검출기)와 결합하여 서로 다른 반사율을 갖는 샘플에서도 선명한 이미지 구현이 가능합니다.

 

 


멀티 레이어기능으로 투명한 물체의 측정에 대응

멀티 레이어 모드
OLS4100에 추가 된 멀티 레이어 기능은 여러 레이어 (층)의 반사광 강도의 피크를 인식하여 각 층의 두께를 측정할 수 있습니다.

투명 소재의 멀티 레이어 관찰/측정
멀티 레이어 기능을 사용하면 투명 샘플의 윗 표면에 있는 투명 필름의 관찰과 측정이 가능합니다. 레진이 코팅 되어 있는 샘플에서도 투명체 각 층의 거칠기와 두께의 측정도 가능합니다.


세계 최초* 두개의 성능 보증

정확도와 반복성

측정 기기로서의 성능은 두 개의 다른 용어로 표현됩니다. 그것은 ‘정확도’과 ‘반복성’입니다. “정확도”는 참값에 얼마나 접근하고 있는지를 나타내고 “반복성”은 여러 번 측정에서 얼마나 변동이 적은가 여부를 나타내는 것입니다. OLS4100은 레이저 현미경으로 업계 최초로 *이 두 성능을 보증합니다.


보증 체계 시스템

OLS4100은 모든 부품이 엄격한 시스템 아래 하에 제조되고 있습니다. 대물 렌즈부터 본체까지 자사 공장에서 일관 생산하고 엄격한 검사 기준을 거쳐 출하됩니다. 최종 조정과 교정은 실제로 사용되는 환경에서 전문 기술자가 수행합니다.


넓은 범위의 측정 타입

단차 측정

이 모드는 단면 프로파일에서 임의의 두 점 사이의 단차를 측정 할 수 있습니다.

표면 거칠기 측정

이 모드는 한 라인의 선 거칠기, 표면 전체의 거칠기 측정이 가능합니다.

면적/부피 측정

단면 프로파일에서 임의의 임계 값을 설정하여 그 상부 또는 하부의 체적을 측정 할 수 있습니다.

입자 측정(옵션)

이 모드는 임계 값 레벨의 설정, 그리고 관심 영역 내에서 감지 범위의 설정 및 분리 기능을 가진 입자의 자동 분리를 할 수 있습니다.

기하학적 측정

이 모드는 이미지상의 임의의 두 점 사이의 거리를 측정 할 수 있습니다. 원형, 사각형 등의 기하학적 모양과 각도를 측정합니다.

필름 두께 측정(옵션)

이 모드는 굴절율의 변화를 감지하여 투명 필름의 두께를 측정 할 수 있습니다.

자동 에지 검출/측정(옵션)

이미지의 가장자리를 자동으로 감지하여 선폭 · 원의 측정을 할 수 있습니다. 사용자에 의한 측정 오차를 줄일 수 있습니다.

OLYMPUS Stream (옵션)

향상된 이미지 분석 성능을 위한 업무개선 솔루션
소프트웨어 “Olympus Stream”(옵션)에서는 입자 크기 분석 및 비금속 함유율 등이 가능하고 OLS4100으로 부터 바로 연동이 가능합니다.


더욱 더 진화된 거칠기 측정

LEXT OLS4100 파라미터

OLS4100은 표면 거칠기 측정기의 새로운 기준을 목표로 개발되었습니다. 필요한 대부분의 거칠기 파라미터 필터를 보유하고 있습니다. 그렇기 때문에 기존의 접촉식 표면 거칠기 측정기를 사용하는 사용자는 기존의 장비와 일치한 출력 결과를 얻을 수 있습니다..
또한 OLS4100은 거칠기 전용 모드가 있어 자동 라인 스티치로 최대 100mm까지 거칠기 측정이 가능합니다. OLS4100은 접촉식 표면 거칠기 측정기와 같은 거칠기 (2 차원) 파라미터를 보유하고 있습니다. 접촉식 표면 거칠기 측정기와 같은 조작성, 호환 측정 결과를 얻을 수 있습니다.

기본 프로파일 Pp, Pv, Pz, Pc, Pt, Pa, Pq, Psk, Pku, Psm, PΔq, Pmr(c), Pδc, Pmr
거칠기 프로파일 Rp, Rv, Rz, Rc, Rt, Ra, Rq, Rsk, Rku, Rsm, RΔq, Rmr(c),Rδc, Rmr, RZJIS, Ra75
파형 프로파일 Wp, Wv, Wz, Wc, Wt, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wsm, WΔq, Wmr(c), Wδc, Wmr
베어링 영역 커브 Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2
모티브 R, Rx, AR, W, Wx, AW, Wte
거칠기 프로파일 (JIS 1994)   Ra(JIS1994), Ry, Rz(JIS1994), Sm, S, tp
기타 R3z, P3z, PeakCount
차세대 파라미터에 대응
OLS4100은 ISO25178 규격 거칠기 (3 차원) 파라미터를 보유하고 있습니다. 평면 영역에서 평가를 실시하는 것으로, 높은 신뢰성이 있는 분석이 가능합니다.
진폭 파라미터 Sq, Ssk, Sku, Sp, Sv, Sz, Sa
기능 파라미터 Smr(c), Sdc(mr), Sk, Spk, Svk, SMr1, SMr2, Sxp
체적 파라미터 Vv(p), Vvv, Vvc, Vm(p), Vmp, Vmc
평면 파라미터 Sal, Str
LEXT OLS4100은 표면 거칠기 측정기의 결과와 호환성을 가지고 있습니다.

마이크로 거칠기

접촉식 표면 거칠기 측정기는 스타일러스의 팁 지름보다 작은 마이크로 표면을 측정 할 수 없습니다. 레이저 현미경은 레이저 스폿 직경이 미세하기 때문에 미세형상을 높은 분해능으로 거칠기 측정 할 수 있습니다.


비 접촉 측정

접촉식 표면 거칠기 측정기는 스타일러스에 의해 부드러운 샘플의 표면을 긁어 손상시키거나 변형시킬 가능성이 높습니다. 또착 접착성이 있는 샘플에서는 스타일러스에 끌려 정확한 측정 결과가 나오지 않습니다. 레이저 현미경은 비접촉이기 때문에 표면 상태에 영향을 받지 않고 정확한 거칠기 측정을 할 수 있습니다.

부드러운 샘플
접착성 샘플

마이크로 영역에서의 측정

접촉식 표면 거칠기 측정기는 스타일러스를 표면에 접촉하지 않고는 측정 할 수 없습니다. 레이저 현미경은 위치를 정확하게 확인하고, 목표한 마이크로 영역에서 거칠기 측정을 아주 쉽게 할 수 있습니다.


고품질 이미지

선명한 3D 컬러 이미지

통합이미지의 3가지 유형

LEXT OLS4100은 동일한 시각의 컬러 이미지, 레이저 현미경이미지, 높이 이미지를 동시에 얻을 수 있으며, 각각 2D・3D로 볼 수 있습니다. 레이저 현미경 이미지 뿐만 아니라 컬러 이미지도 초점이 맞는 이미지만 캡처 하기 때문에 선명한 이미지를 얻을 수 있습니다.

리얼 컬러 3D 이미지
공초점 3D 레이저 이미지
높이 정보

자연 컬러 재연

OLS4100은 백색 LED를 사용하며, 색 재현이 뛰어난 촬상 소자와 결합하여 선명하고 자연스러운 색조의 컬러 이미지를 생성 할 수 있습니다.

2D 컬러 이미지 (종이 위의 잉크젯 점, 대물렌즈 20x)
3D 컬러 이미지 (종이 위의 잉크젯 점, 대물렌즈 20x)

실제 표면 재현, 레이저 DIC (미분 간섭 대비)

미분 간섭 관찰(DIC)은 레이저 현미경의 분해능을 더 넘어선, 나노 미터 수준의 미세한 표면을 시각화하는 관찰 방법입니다. 이 레이저 DIC에 의해 OLS4100은 저배율의 라이브 관찰에서도 전자 현미경의 분해능과 같은 이미지를 얻을 수 있습니다.

DIC가 없는 레이저 현미경 이미지(고분자 필름)
DIC가 있는 레이저 현미경 이미지(고분자 필름)
DIC가 없는 레이저 현미경 이미지(5x 대물 렌즈)
STEP 높이 표준 타입 B, PTB-5, 독일 마이크로 전자 연구소
DIC가 있는 레이저 현미경 이미지(5x 대물 렌즈)
STEP 높이 표준 타입 B, PTB-5, 독일 마이크로 전자 연구소

밝기와 대비의 최적 밸런스 HDR (High Dynamic Range) 이미지

OLS4100의 HDR기능은 다른 노출로 촬영 한 여러 가지 광학 현미경 이미지를 결합하고 개별적으로 밝기, 명암, 질감과 채도를 조정하여 넓은 동적 범위의 HDR 프로세스로 이미지화합니다. OLS4100은 대비가 부족한 샘플의 미세 형상도 선명히 라이브 화상으로 관찰 할 수 있습니다.

컬러 이미지
(고밀도 직물, 대물렌즈 20x, 줌 1x)
HDR 컬러 이미지
(고밀도 구조, 대물렌즈 20x, 줌 1x)
알고리즘

측정 및 이미지 환경의 안전화

하이브리드 진동 완충 기구

OLS4100은 외부의 영향을 억제하여 측정 및 이미징 환경을 안정시키기 위해 본체에 코일 스프링과 댐핑 러버로 이루어진 ‘하이브리드 제진 장치 “를 내장하고 있습니다. 따라서 전용 제진대 없이도 측정이 가능합니다.


더 쉽게, 더 빠르게, 더 광범위하게.

3단계의 간단 조작

OLS4100에서는 샘플을 스테이지에 올리는 것 만으로, 곧바로 관찰 · 측정을 시작할 수 있습니다. 간단한 이미지 획득, 측정, 보고서 작성 이 3 단계로 레이저 현미경에 익숙하지 않은 초보자도 쉽게 측정 방법을 마스터 할 수 있습니다.


항상 샘플의 위치를 알 수 있습니다.

매크로 맵 기능

OLS4100에서는 매크로 맵 기능이 있기 때문에 “샘플이 지금 어디에 있는지”를 화면에 나타낼 수 있습니다. 전동 리볼버를 사용하기 때문에 저배율의 광범위한 샘플 이미지를 자동으로 표시합니다.
또한 스티칭 기능을 사용하면 기존에 비해 최대 441 배 넓은 시야의 매크로 맵을 만들 수있게 되었습니다.

고속 매크로 맵 스티칭


간편한 3D 이미징 스마트 스캔

자동 3D 이미지 획득

스마트 스캔 기능을 새롭게 첨가한 OLS4100. 기존의 3D 검사는 초보자에게는 어려운 복잡한 설정이 필요했지만, 스마트 스캔 기능을 통해 쉽게 3D 이미지 전송을 할 수있게 되었습니다. 상하단 설정 이외에 밝기 조정도 자동으로 수행되며 한 번의 클릭으로 이미지 전송이 가능하여 초보자도 숙련자와 같은 최적의 이미지 획득이 가능합니다.

자동 밝기 조절

평면 밝기 조절                                              높이의 범위 내에서 밝기 조절
획득 시간이 대폭 단축

스캐닝 스피드의 고속화

새롭게 생긴 초고속 모드는 기존 고속 모드의 약 2배, 고화질 모드의 약 9배의 속도로 스캔 할 수 있습니다. 이를 통해 광범위의 Z축 방향의 획득과 고배율이 필요한 칼 끝 같은 급경사 각도를 가진 샘플의 측정도 단시간에 가능합니다.
* 실제 스캔 시간은 Z축 방향의 범위 및 대물렌즈의 배율 등에 의해 변동됩니다.

동일 시간에 따른 이미지 획득 수:

실제 스캐닝 시간은 배율 과 Z축 획득 범위에 따라 달라집니다.

필요한 부분만을 고속 스캔

OLS4100 밴드 스캔 기능은 샘플 검사 범위를 한정함으로써 원래의 약 1 / 8의 고속 측정이 가능합니다.

풀 스캔을 한 획득
밴드 스캔을 한 획득(약 1/8 시간 단축)

새로운 고속 스티칭 모드

넓은 영역의 스티칭 이미지에서 원하는 영역을 지정

매크로 맵과 같은 절차로 획득한 광범위의 이미지에서 3D 스티칭 범위를 지정할 수 있습니다. 최대 625장의 이미지 스티칭이 기존의 절반의 소요시간으로 생성 가능합니다. 스티칭의 범위를 지정하는 방법은 사각형뿐만 아니라 원형으로도 선택할 수 있습니다.


수동으로 필요한 영역을 지정

실시간 관찰 모드로 화면에서 필요한 부분을 추적하여 수동으로 선택할 수 있습니다. 관찰 할 샘플이 불규칙한 형태를 가지고 있을 경우 편리합니다.


빠른 이미지 획득

스마트 스캔을 사용하여 이미지 획득을 한 번의 클릭으로 시작할 수 있습니다. 스마트 스캔 모드에서 Z축 방향 설정이 자동으로 이루어 지므로 Z축 방향의 획득 범위를 한정함으로써 더 많은 시간을 단축할 수 있습니다.


빠르고 이해하기 쉬운 보고서 작성

관찰 · 측정 결과의 신속한 보고서 작성도 레이저 현미경의 중요한 역할입니다. OLS4100은 측정 종료 후 한 번의 클릭으로 보고서 작성이 가능합니다. 개별 템플릿 사용자 지정이 자유 자재로 할 수있는 등 다양한 편집 기능도 갖추고 있습니다.


한번의 클릭으로 여러장의 이미지를 일괄 측정

상세 사용자 마법사 설정 기능은 긴 훈련의 필요 없이, 새로운 사용자도 빠르고 쉽게 작업을 할 수 있습니다.


-> 응용분야에 대하여 더 보기

STM7

The STM7 microscopes offer excellent versatility and high performance three axis measurements of parts and electrical components, with sub-micron precision. Whether samples are small or large, simple or complex, or measurements are being taken by a novice or an expert, the Olympus STM7 range features measuring microscopes tailored to fit your needs.

  • Accurate Measurements through the Integration of an Optical Microscope and Advanced Measurement Capability
  • The STM7 was Designed with Emphasis on Ease of Use
  • Accessories that Widen the Range of Observation and Measurement
  • Automated Focusing System Provides Superior Repeatability
  • System for Achieving More Advanced Measurement

Accurate Measurements through the Integration of an Optical Microscope and Advanced Measurement Capability

Observation Performance Refined through Years of Microscope Development

The STM7 series uses the same UIS2 infinity-corrected optical system used in state-of-the-art optical microscopes. As a result, observed images have high resolution and high contrast, with aberration thoroughly eliminated to help ensure highly accurate measurement in minute detail.

 


Measurement Reliability Enhanced with a Stage-Mounting Plate Crafted from Stone

STM7-LF FEM analysis

To provide further assurance of measurement accuracy, the STM7 series uses a highly durable, vibration-resistant frame with a granite surface plate. As a result of this stability, measurements can be taken at sub-micron-levels while ensuring minimal error.

 


Continuing to Provide User-friendly, High-Precision, 3-axis Measurement as a Pioneer of Height Measurement

Reflective Active, Confocal Autofocus System Optical Path

As modern manufacturing technology becomes increasingly miniaturized and precise, highly accurate measurements are even more essential—not only along the horizontal XY axes, but also along the Z-axis. Olympus has responded to such needs by being the fi rst to realize an autofocus system for measuring microscopes by means of the reflective active, confocal method.


Dependable Quality Based On a Strict Traceability System

Measuring Microscopes Traceability System

The accuracy of Olympus’ measuring microscopes is controlled by a strict traceability system and Olympus even offers traceable calibration at the time of installation.


The STM7 was Designed with Emphasis on Ease of Use 

Offering Stages to Fit the Sample Size at Hand

Common Problems

  • Short measurement stroke precludes the measurement of larger samples.
  • Sample rotation required to compensate for shorter Y than X-axis coverage during measurement is time inefficient. Until now, large stages have offered a sufficient measurement coverage on the X-axis, but only less coverage on the Y-axis.
  • Due to the narrow measurement range, it is impossible to line up large numbers of samples on the stage for measurement at once.

STM7 Solutions

  • Four types of stages are available, each with a unique square measurement stroke (choose from 50 mm x 50 mm, 100 mm x 100 mm, 200 mm x 200 mm, and 300 mm x 300 mm). From small to large size samples, there is a stage that fits the sample being measured.
  • A clutch system enables rapid switching between coarse and fine movements. Thanks to this switching function, the stage can also be moved rapidly along the X- and Y-axes, and freely across the XY plane.
  • The 300 mm square length stage enables the same measurement stroke to apply to both the X and Y-axes, which means it can be used to measure large samples, such as 300 mm wafers and printed circuit boards without changing their orientation.

 


Use the Same Microscope for Both Low- and High-Magnification Observations

Common Problems

  • Most conventional measuring microscopes only accept a measuring objective or metallurgical objective, and so are unable to meet the requirements for a wide variety of observations.

STM7 Solutions

  • The STM7 accepts both a metallurgical objective and a measuring objective by exchanging a revolving nosepiece with a measuring objective adapter. This means that the STM7 combines both metallurgical optics and measuring optics in one microscope. In this way, the STM7 series satisfi es a range of needs, no matter whether measuring a wide area or tiny region, measuring the size of differences betwe en levels, or assisting the user in deciding on the best observation method to choose.

Measuring Objectives

Because the measuring objectives have an extremely long working distance, they provide confidence when focusing on samples with large peaks and troughs while reducing worries of the objective coming into contact with the sample.
Furthermore, their low-magnifi cation capability enables wide areas to be observed in a single view.

Metallurgical Objectives

Metallurgical objectives enable high-magnifi cation, highresolution observation capability comparable to that of optical microscopes. What’s more, these objectives can be used not only for brightfield, but also for darkfield and DIC observation.

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Manual and Motorized Focusing Model Options

The STM7 Line Includes both Manual and Motorized Focus Options

Focus control is available with either manual or motorized operation. Choose the model that addresses your needs in terms of samples and measurement content, regardless of stage size—with all frames incorporating a linear scale for the Z-axis that enables 3-axis measurement.

Manual Z-axis Focus Models

Manual Z-axis focus models offer excellent cost performance—with familiar handle operation for rapid vertical movement that offers convenience for users who needs to measure samples with variety of heights.

 

Motorized Z-axis Focus Models

Operability is improved and handling fatigue is reduced for focus and height measurements when using the motorized focus unit. The coaxial knobs for coarse and fine movement offer a feeling similar to manual operation, while the models can also be equipped with an autofocus unit.


A Revolutionary Control Unit Refines Measuring Microscope Usability

Common Problems

  • Additional functions require additional operational units. Operators can’t always locate the corresponding unit quickly, which significantly reduces measurement efficiency.
  • Numerous operational units and their power supplies around the main unit occupy valuable working space.

STM7 Solutions

Controllers

With the STM7 series, a single controller makes it possible to perform virtually all measuring microscope operations, including use of readout reset, illumination control, focusing, and autofocus. For efficiency and convenience, the unit can be placed wherever you wish and operated easily with one hand.

Control Box

The power supply and transmission for each unit are combined in a single control box. This preserves maximal work space even when a range of optional functions, such as the focus navigator, are added.


Automatic Light Intensity Adjustment Greatly Improves the Efficiency of Observation and Measurement

Common Problems

  • Analog volume adjustment used by conventional measuring microscopes does not enable the quantitative assessment of light intensity, which can lead to variability in measured values as light intensity changes.
  • With conventional measuring microscopes, light intensity may need to be adjusted every time the objective is switched—making for an inefficient workflow.

STM7 Solutions

Close Control through a Quantitative Digital Display of Light Intensity Values

The STM7 series provides a quantitative digital display of light intensity—enabling observations to always be made under consistent illumination conditions.

 

Light Intensity Manager Eliminates the Need for Manual Adjustment

Light intensity manager can be used with the coded revolving nosepiece configuration. The coded revolving nosepiece automatically detects the switching of objectives. This allows the illumination method and light intensity to be registered for each objective, and adjusted automatically during measurements when the objective is switched. Now there is no need to manually adjust light intensity, which used to be required with every switch between magnifications.

 


A Detachable Digital Read Out for Preferred Location Enables Swift, Convenient Checking of Measurement Results and Equipment Status

Common Problems

  • The need to check the operation status of equipment, such as illumination, or measured values on individual units makes overall operation cumbersome.

STM7 Solutions

Digital Indicator Enables the Current Operation Status to be Verified Visually

The indicator displays the device status and settings. The minimum X, Y, and Z-axis values can be switched between 0.1 μm and 1 μm, and the display units can be switched between mm, μm, inches and mil.

Detachable Digital Readout Allows for Individual Preference and Placement

Whether attached to the frame or a desk, the placement of the detachable digital readout is up to the individual user. While standing to take measurements, it can be placed on the side of the frame at almost the same height as the site of observation for an exceptional and easy view. When operating from a sitting position, such as observation or measurements on a monitor via a digital camera or when using the motorized Z-axis focusing model, simply place the digital readout and hand controller on the desk.


Automated Focusing System Provides Superior Repeatability

Achieve Faster, Simpler, More Accurate Height Measurement

Common Problems

  • When doing visual measurement, variations can arise in the height measurements between different operators. Furthermore, this measurement method is time-consuming and inefficient.

STM7 Solutions

Simple and Highly-Precise Focusing System with Superior Repeatability

The Olympus’ focus navigator delivers highly reproducible height measurement by projecting a pattern within the fi eld of view and identifying vertical deviations. Slight errors can occur in height measurements taken with normal visual observation, even when focus appears to be sharp. The focus navigator, however, enables measurements to be made simply by matching up the marks—thereby reducing operator subjectivity in measurement results.

Focus Navigator

Visual Height Measurement

 


Autofocus Advantage for Fast and Highly Accurate Height Measurement

Common Problems

  • During visual measurement, the results of height measurement can vary between different operators.
     
  • Manual height measurement requires the operator to repeatedly move the stage and adjust the focus with the handle, making measurement time-consuming and inefficient.
     
  • Focusing on minute objects, such as bonding wires, is difficult.

STM7 Solutions

Dedicated Autofocus Unit: Outstanding Reproducibility and Focusing Speed

The STM7 dedicated autofocus unit allows highly accurate height measurements to be made with minimal time, regardless of the level of operator experience. Use of the reflective active, confocal method provides a stable focal point independent of surface roughness or a slanting sample surface, while the small laser diameter enables the use of autofocus, even on minute objects, such as bonding wires.

 One-shot Mode

Instantaneously takes autofocus from a roughly focused state to sharp focus located at the center of the field of view.

TRACK Mode

The featured TRACK Mode provides autofocus that tracks the peaks and troughs of the sample, even if the stage is moved, keeping the image continually in focus. This advancement greatly improves the efficiency of Z-axis measurements by enabling observations to be made without taking your hands off the X and Y handles.


Accessories that Widen the Range of Observation and Measurement

Coded Revolving Nosepiece

Combining a coded revolving nosepiece with a digital camera lets you display the objective magnification on-screen during observation and allows you to record that magnification.
This convenient feature allows information on your sample and the objective’s magnification to be recorded at the same time when recording a sample.


MM6-EMO/ Erect Image Monocular Tube

Monocular tube for erect images. Can be used in combination with MM6-OCC10x (eyepiece with cross hairs).

 

 

 


STM7-FS/ Foot Switch

Enables hands-free transmission of data, allowing operators to complete measurement without taking hands off the X and Y handles.

 

 


SZ-LW61/ White LED Illumination Unit

This light-weight, space-saving design model provides a long operating life and low power consumption. The cost-effective LED illumination unit is also free from the flickering and brightness fluctuation.

 


SZX2-ILR66+SZX-RHS/ LED Ring Illuminator+Manual Control Unit

SZX-RHS manual control unit enables independent illumination of four-segments of the SZX2-ILR66 reflected LED ring illuminator, which provides clear images with high color temperature. The optimal illumination can be selected from 13 patterns.


Rotatable Stage

Enables easy parallel alignment of sample.


 

System for Achieving More Advanced Measurement

Measurement Support System

The ability to clearly and easily see the output display component of measuring microscopes is essential. That is why the new Olympus measuring software has been created, helping to deliver complex measurements with greater accuracy. The software also enables the use of digital cameras.